使用小型工業超純水設備的步驟通常如下：

準備設備：確保設備已正確連接并接通電源。檢查設備的濾芯和膜組件是否安裝正確，并根據需要調整設備的參數和設置。

進水準備：接通進水管道，并確保進水源的水質符合設備的要求。如果需要，可以連接預處理單元（如過濾器）來去除水中的懸浮顆粒和有機物。

啟動設備：打開設備的電源開關，并根據設備的說明書或操作手冊，按照正確的步驟啟動設備。通常需要設置操作參數，如流量、壓力和水質等。

操作監控：一旦設備啟動，可以監控設備的運行狀態和參數。確保設備正常工作，如監測水的流量、電導率、壓力等參數，并根據需要進行調整。

水質采集：當設備達到穩定狀態后，可以開始采集超純水。將容器或管道放置在設備的出水口，收集所需的水樣。

關閉設備：在使用完畢后，根據設備的操作說明，按照正確的步驟關閉設備。確保設備停止運行，并關閉電源開關。

設備維護：定期對設備進行維護和保養，包括更換濾芯、清洗膜組件等。遵循設備制造商提供的維護指南和建議，確保設備的長期穩定運行。

請注意，以上步驟僅為一般參考，具體的操作步驟可能因設備型號和制造商而有所不同。因此，在操作設備之前，務必詳細閱讀設備的操作手冊，并按照制造商的指導進行操作。

如果您對設備的具體使用方法有疑問或需要更詳細的指導，建議咨詢設備制造商或供應商，他們可以提供針對您設備的特定操作指導。