生產超純水的設備通常使用多種水處理技術和組件，以去除水中的溶解性離子、微生物、有機物和懸浮顆粒等，提供高純度的水源。以下是常見的生產超純水的設備：

反滲透（RO）系統：RO系統是生產超純水最常用的設備之一。它通過半透膜的過濾作用，將水中的溶解性離子、微生物、有機物和懸浮顆粒去除，提供高純度的水。RO系統通常作為超純水設備的核心部分。

離子交換（EDI）系統：EDI系統結合了離子交換和電滲析技術，用于去除水中的離子和雜質。它能夠提供連續產水，并且不需要使用化學品進行再生，適用于需要高純度水的生產過程。

納濾系統：納濾系統使用納濾膜，能夠去除水中的微小顆粒、膠體物質和大部分溶解性有機物。納濾系統常用于預處理階段，去除水中的懸浮物和大顆粒物質。

紫外線（UV）消毒系統：UV消毒系統利用紫外線輻射殺滅水中的微生物，如細菌、病毒和其他病原體。UV消毒系統通常用于最終水質消毒，確保水源的安全和衛生。

活性炭吸附系統：活性炭吸附系統使用活性炭來吸附水中的有機物和臭味物質，提供更清潔和無異味的水源。活性炭吸附系統常用于去除水中的氯、溶解性有機物和其他化學污染物。

這些設備可以根據實際需求進行組合和配置，以滿足生產過程中對超純水質量的要求。選擇適合的設備時，需要考慮產水量、水質要求、設備的可靠性和維護要求等因素。最好咨詢專業的水處理設備供應商，根據具體的生產需求選擇合適的設備配置。